技术路线既然确认,那么接下来就是如何将其实现了。 王中军作为实验室的负责人,并不需要事无巨细的全面参与进去,更多的还是掌握方向和协调与督促进度。 想通过原子力显微镜来刻画光栅,最大的拦路虎看来就是硅探针的问题了。 既然要求是100纳米分辨率的光栅,那么探针的针尖应该至少在50纳米。 所谓光栅,其实就是一排透明和不透明交替的宽度相等的玻璃片。它的分辨率