到蒙板上的图案。 一般来说,光刻胶有两大类——正性光刻胶,和负性光刻胶。 正性光刻胶,是曝光部分发生光化学反应溶于显影液,未曝光部分不溶于显影液,仍然保留在衬底上,最终在衬底形成的图案和蒙板上的图案相同。 负性光刻胶,是曝光部分因为交联固化作用不溶于显影液,未曝光部分则溶于显影液,最终在衬底形成的图案和蒙板上的正好相反。 李察经过一番考虑后,决定用正性光刻胶