废。 但好在,叶舟从模拟器中得到的光刻机图纸采用了极强的鲁棒性设计,原本的10万个零件增加到12万个,其中两万个是冗余件,用于将剩余的10万个功能件拆分成400多个独立模块,每次组装都只针对一个独立模块进行,所以操作失误也只会影响其中1个模块。 这对第一次进行超精密光刻机组装的工程师们来说实在是太友好了,毕竟他们之前最多都只接触过20n以上光刻机的组装,要直接上手这台亚纳米级别