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一直以来的研究也按部就班的还算顺利，树脂透光的波长一直到了150n左右。

这可以说已经是相当夸张的一个成绩！

当前极紫外线ev光刻机还停留在阿斯麦的实验室阶段，或许已经出现了雏形和原型机，但ev光刻机的本来目的是要量产芯片，加上需要真空环境，所以不管是到光刻机可以量产芯片还是到光刻机本身的商业化都还需要时间。

目前最顶尖的光刻机，是阿斯麦弯道超车与积电理