但多重曝光的良品率有些低，所以魔都微电在研发下一代的65n光刻机，用来生产28n或者22n工艺芯片良品率就高多了。

良品率越高、成本越低、性能越好，这就是著名的摩尔定律的基本思想，制程越先进，实际上同等成本下将换来更好的性能提升。

国内的几家半导体公司之所以催促魔都微电的65n光刻机，主要动力就是新远的321、322系列以及配套其他动态存储器业务。

现在利用90