说起了原理：“光刻机一般分两种，一种是DUV，而另一种就是EUV，DUV使用的光源波长是193纳米，而EUV使用的是135纳米波长的光源。”

“根据瑞利判据R=D/122，可以得出，光学系统能够分辨的尺寸和波长成正比。”

“所以如果要制造更小尺寸的芯片，就需要更短波长的光，也就是EUV的光源。”

“实际上我们都知道EUV的光源使用的还是193纳米的光，但是用它去连续击