听着吴新屹说出的这些光刻机零部件,李东陵也能够想到,周石带领的光刻机团队那边,现在难度有多大。 国内现在不仅是光刻机厂商全军覆没,整条零部件产业链现在,几乎都处于可有可无的状态。 “现在周总工团队那边,不仅是研发光刻机技术,还要研发相应的配套软件跟零部件等,为此甚至投资了超过数家零部件公司,作为东芯半导体光刻机的零部件供应商!”