第440章秘密武器 不过呢,也不能完全说就是因为光刻机,而限制了国内的芯片制造技术发展。 在胡杨的记忆中,同样是浸没步进式光刻机,台电就用这种设备一直将制程工艺做到16(nm)、12(nm)甚至是10(nm)。 胡杨隐约记得,当年尹志遥教授曾经说过,台电是在工艺上进行了创新。似乎先后应用了双重曝光法、模具遮挡法等等,不过很可惜他自己本身不是理工男,