程还能继续往前推进,16(nm)、12(nm)甚至10(nm)都不是梦想。 不过10(nm)也就到最后的极限,低于这个界限根本看不清楚。想要突破到10(nm)制程之下,就必须采用新的光源。也就是台电和ASML正在研发的极紫光光源(光波长度为13.5nm)。 此时的孟如松可以说是心潮澎湃,他是业界的顶尖大咖,自然知道这小小的一个本子上面,记录了怎么样的东西。