线电波等超长波,紫光之下,也有紫外线、X射线、伽马射线等等超短波。 而极紫外光,便是低于紫光,却又高于X射线的一段不可见光,波长最低为13.5纳米,能制造出只有个位数纳米级工艺的芯片。 而这种EUV光刻机,全世界也只有一家厂商能制造出来,那就是荷兰的阿斯麦公司。 不过之所以达到这个成就,也并非是单独一家公司的成果,而是由世界上十多个国家共同配合的结果,镜头