斯麦,更是没影的事。 到了八十年代中期,就更了不得了,自动接近式光刻机研制成功了,分步投影式光刻机生产出来了,光刻光源甚至已经达到了193纳米。 这一技术,仅比国际上最领先的,落后了四五年的时间,更是遥遥领先着阿斯麦。可以说,当时在光刻机技术上,咱们谁也不怵! 然而,很可惜,光刻机的研发,也就到此为止了。 所有人都以为我们的、光刻机的辉煌征途