量了。 “陆。。。陆总,您确定,您没有开玩笑?真的是双重曝光光刻机?” 此时的樊东,说话都有些不利索。 这。。。 国内就不提了,国外大厂使用的,也不过是1980年左右面世的紫外光刻。 樊东在麻省理工的时候,在导师的带领下,参与过双重曝光光刻的研究与运用。 全新的双重曝