点,也是目前华夏的悲哀。 “像是IBM这样的大厂,他们非常明白该如何进行维护和保养,甚至已经延伸出了一套完整的操作体系。” 不管对于任何一个资本方来说。 谁的钱都不是大风刮来的。 定期清洁,解决光刻机内部积累的灰尘和杂质可能导致设备性能下降。 保持图案刻写的高精度,定期对光刻机进行校准,及