公司直接推出了干法蚀刻的PVD技术，干脆另开炉灶了！干法蚀刻是用等离子体直接撞击晶圆，从化学反应变成了物理反应，干脆没有各向同性的问题了。

当然，后来干法蚀刻的物理性蚀刻也不能满足需求，于是业界又把湿法蚀刻捡回来了。但那也是利用离子蚀刻机将化学腐蚀剂离子化之后，在PECVD基础上搞的湿法蚀刻。

各向异性的问题，早在八十年代美国人就解决了。

如今钟大华和吴牧想要走回头路