目前日苯半导体那边倾向于准分子激光方案，但不论哪种方案，都面临透镜、光刻胶等难题，而且难度十分大，如果这些方案都没奏效，也就意味着引导半导体行业几十年的摩尔定律……正式失效了！”

说起这些，吴新屹是直摇头，家家都有本难念的经，对于东芯半导体来说，是怎么追赶最先进的光刻机，而对于尼康、佳能、GCA、IBM等公司的光刻机部门来说，焦虑的是，第四代光刻机到底何去何从。