第77章 光刻难题(12 / 22)

老师,我们要如何突破现有光刻机光源的物理极限,以实现更高的能量密度和更窄的波长?”

叶凡淡淡一笑,道:“探索新型光源技术,如极紫外自由电子激光等,同时研究与之匹配的光学系统和材料。”

“哇!叶老师这个主意好,叶老师好厉害啊!”

“那我们在提高光刻机精度的同时,又如何有效克服量子效应带来的影响?”

“我们可以深入