老师,我们要如何突破现有光刻机光源的物理极限,以实现更高的能量密度和更窄的波长?” 叶凡淡淡一笑,道:“探索新型光源技术,如极紫外自由电子激光等,同时研究与之匹配的光学系统和材料。” “哇!叶老师这个主意好,叶老师好厉害啊!” “那我们在提高光刻机精度的同时,又如何有效克服量子效应带来的影响?” “我们可以深入