研究量子力学原理在光刻过程中的表现，开发相应的补偿或抑制技术。”

“叶老师好牛！”

“那叶老师我们要 怎样解决光刻机在纳米尺度下的电子束控制难题？”

“我们研发更先进的电子束聚焦和偏转技术，以及高灵敏度的检测反馈机制。”

“叶老师， 在光刻机实现更高集成度的过程中，要怎样协调各组件之间的相互作用和干扰？”