> “我们可以通过系统仿真和模拟,精确分析各组件关系,进行整体优化设计。” “那如何应对光刻机长时间高负荷运行导致的热膨胀等细微形变问题? “采用低热膨胀系数材料,研发高效散热和温度稳定控制技术。” “叶老师,您真的好厉害啊!” “是啊,我看叶老师比那些人更厉害,而且叶老师都不像他们,整天一副高架