第77章 光刻难题(14 / 22)

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“我们可以通过系统仿真和模拟,精确分析各组件关系,进行整体优化设计。”

“那如何应对光刻机长时间高负荷运行导致的热膨胀等细微形变问题?

“采用低热膨胀系数材料,研发高效散热和温度稳定控制技术。”

“叶老师,您真的好厉害啊!”

“是啊,我看叶老师比那些人更厉害,而且叶老师都不像他们,整天一副高架